多晶硅的生产工艺主要由高纯石英（经高温焦碳还原）→工业硅（酸洗）→硅粉（加HCL）→SiHCL3（经过粗馏精馏）→高纯SiHCL3（和H2反应CVD工艺）→高纯多晶硅。需要用水的，很多。
多晶硅生产过程中 硅烷是不能见水的，水是用来冷却和工业用，会大量的用哦，当然是循环的呀，不然谁家钱多都用一次性的水呀
