电感式传感器.电容器式传感器和电阻式传感器均可测位移，有何区别

定义：
1、电阻式传感器：指的是非电量的变化引起电阻值的变化，然后用调理电路将变化的电阻值转换成电压、电流或数字信号等。
2、电容式传感器：指的是非电量的变化引起电容值的变化，然后用调理电路将变化的电容值转换成电压、电流或数字信号等。
3、电感式传感器：指的是非电量的变化引起电感值的变化然后用调理电路将变化的电感值转换成电压、电流或数字信号等。
对比：
电容式传感器与电阻式、电感式等传感器相比有如下一些优点：
1、高阻抗、小功率,因而所需的输入力很小，输人能量也很低。电容式传感器因带电极板 间静电引力极小(约几个10-5 N)，因此所需输入能量极小，所以特别适宜用来解决输入能量低的 测量问题，例如测量极低的压力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很灵敏,分辨力非常髙，能 感受0.001μm甚至更小的位移。
2、温度稳定性好。传感器的电容值一般与电极材料无关，有利于选择温度系数低的材料， 又因本身发热极小，对稳定性影响甚微。
3、结构简单，适应性强，待测体是导体或半导体均可,可在恶劣环境中工作。电容式传感 器结构简单,易于制造,可做得非常小巧，以实现某些特殊的测量;能工作在高低温、强辐射及强 磁场等恶劣的环境中，也能对带有磁性的工件进行测量。
4、动态响应好。由于极板间的静电引力很小，可动部分做得很小很薄，因此其固有频率很 高，动态响应时间短，能在几兆赫的频率下工作，特别适合动态测量，如测量振动、瞬时压力等。
5、可以实现非接触测量，具有平均效应。例如非接触测量回转轴的振动或偏心、小型滚珠 轴承的径向间隙等。当采用非接触测量时,电容式传感器具有平均效应，可以减小工作表面粗糙 等对测量的影响。