指分辨率,一般微米级传感器就是分辨率是微米级,一般他测量精度跟电路模块设定有关,鉴定是由激光干涉仪来完成,简易的鉴定就是做个工装,一边是传感器,一边是微分筒(千分尺或螺旋测微器),旋转螺旋测微器,看传感器的数字变化
我知道的有ZLDS100传感器,它的精度是0.01%,真尚有的