臭氧灭菌是一种生化氧化反应。 臭氧氧化细菌内部葡萄糖所必需的酶; 它还可以直接与细菌和病毒相互作用，破坏其细胞壁和核糖核酸，并分解大分子聚合物，如DNA，RNA，蛋白质，脂类和多糖。 在细胞膜组织中，进入细胞膜的内部脂多糖与外膜脂蛋白反应，导致细菌物质的渗透性变形，导致细胞溶解和死亡，以及遗传，寄生虫和寄生虫病毒。 死细胞。 颗粒，噬菌体，支原体和热原(细菌病毒代谢物，内毒素)的溶解变性死亡。
利用“臭氧”氧化的自然特性，在腐败分解过程中氨和有机污染物分解产生的气味被完全分解，破坏了有气味物质的分子结构，产生无毒无味的物质。 游泳池国际比赛游泳池几乎全部采用臭氧发生器处理，不仅可以去除水中的余氯，还可以分解氯消毒产生的氯仿，溴二氯甲烷，四氧化二氯等氯化有机物。
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