热式气体质量流量计是利用热传导原理或热扩散原理测量气体流量的仪表。
热式气体质量流量计利用恒温差法对气体质量流量进行准确测量。其优点包括体积小、数字化程度高、安装方便、测量准确等。在热式质量流量计中,传感器分为两部分,一部分测量温度,另一部分用于加热。测量温度的传感器监控实际过程温度值,而加热的传感器则维持一恒定温度值,使其总是高于实际过程温度且与该过程温度保持恒定的温度差。
当气体流速增加时,气体的冷却效应加大,维持差分温度所需的能量也会增加。因此,通过测量加热器的能量,就可以得出被测气体的质量流量。