理论上，氟原子的吸引电子能力较氯原子的大，原子半径小所以F-P的键长小于Cl-P键，以氨分子的键角107°18‘ ，而磷化氢的键角 93° 可知，氟原子与氟原子之间由于距离近，空间位阻大，键角大（两个氟原子之间同性相斥），磷原子与磷原子由于键长较长，相互排斥作用小，所以键角 F-P-F ＞Cl-P-Cl
