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溅射镀膜中为什么要充高纯度氩气而不是大气,而此时抽真空的过程还在进行吗?为什么?
溅射镀膜中为什么要充高纯度氩气而不是大气,而此时抽真空的过程还在进行吗?为什么?
2025-04-06 11:13:57
推荐回答（1个）
回答1：
大气中主要包含N2和O2，N2对原子质量太小溅射效果不好，O2会产生化学反应。当然要抽真空啊！氩气会被消耗所以你要一直充氩气，但要保持真空恒定，就必须抽真空动作。
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