用高压水射流切割机，不过普通的切割机恐怕不行，因为喷嘴太大了，要用前混合水射流切割机床，喷嘴普通的可以做到0.25mm，甚至可以做到50um，而且是绝对的冷切割，没有热应力。我在深圳工作的时候有用过这个切割硅片的。
