如何依据ISO14644-1进行洁净室分级测试

2025-04-07 13:40:50
推荐回答(2个)
回答1:

选取测定点后,用粒子计数器测量指定粒径大小的微粒数量。取平均值。查看数值符合哪一等级。注意测量环境要求是空态,静态还是动态。有一个洁净室的施工及验收规范可供参考。

回答2:

空静动状态下的效果测试粒子计数器,