感光高分子是指在光的作用下，能迅速发生光化学反应的、引起物理和化学变化的高分子。当聚合物受到光作用，能够发生化学反应的角度来看，主要是含有重氮型、叠氮型、肉桂酰型、丙烯酸酯型等这样一些感光基团的聚合物。包括：光致抗蚀剂(叠氮型为主)、光增感剂(5-硝基苊为肉桂酰型的有效增感剂)、光交联型光致抗蚀剂(聚乙烯醇肉桂酰型) 等等。
