通常采用硝酸和氢氟酸的混合液对硅进行腐蚀，其化学反应式是：（1）Si+4HNO3—SiO2+2H2O+4NO2（2）SiO2+6HF—H2（SiF6）+2H2O（式中—是向右箭头，NO2是气体，式中NO2右侧应有向上箭头）
