采用韦弗斯检测生产的WINFOSS-P6微水仪进行微水检测，其产品检测精度高。
SF6气体中混杂的水分通常以水蒸汽形式存在。在较低温度下，水蒸汽可能凝结成露附着在零件表面，如附着在绝缘件表面就有可能产生沿面放电。实际上SF6开关设备的内绝缘事故主要是由SF6气体中水分凝露造成的。
水分的危害更主要的是在电弧作用下SF6气体分解过程中产生反应。在电弧或电晕高温作用下，SF6将被分解为SF4，SO2F2(氟化硫酰)，SOF2(氟化亚硫酰)，HF和SO2等有毒物质。生成物HF(氢氟酸)是所有酸中腐蚀性最强的，SO2遇水会生成亚硫酸H2SO3，这也是有腐蚀性的物质。由此看来，如SF6气体中含有水分，不仅降低设备的绝缘强度，而且危害人体健康，因而控制SF6气体中水分含量是十分必要的。
环境温度对SF6气体中水分含量的影响
在对SF6断路器进行微水测量时发现，对同一台断路器，由于测量时环境温度不同，其测量结果相差很大，且微水测量值随环境温度的增高而增大。
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