傅里叶红外光谱仪能测硅基上的无机物半导体薄膜吗(硅不透光)

注意是无机物的半导体
2025-04-09 15:50:16
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回答1:

不透光的样品需要用到ATR附件,利用红外反射(而不是投射)来检测。
另外,对于无机物,一般不用常规的中红外光谱(波数范围 400 ~ 4000 cm^-1)检测,而是用远红外光谱(波数范围 < 400 cm^-1)