PLD制备两相复合薄膜,为什么XRD测试不出其中金属氧化物的衍射峰?

2025-04-08 15:46:06
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回答1:

1. 结晶度不高:金属氧化物可能以非晶态或低结晶度形式存在于薄膜中,导致XRD无法检测到明显的衍射峰。这可能是由于沉积条件(如沉积温度、沉积速率)不适宜或氧气分压等因素导致的。
2. 薄膜厚度较小:如果薄膜的厚度非常薄(一般小于几十纳米),那么由于薄膜中金属氧化物的衍射峰强度较弱,可能被探测限制而无法明显显示。
3. 衍射峰重叠:如果复合薄膜中含有多个金属氧化物相,并且它们的晶格结构和衍射角度非常相似,那么它们的衍射峰可能会相互重叠,使得XRD无法区分和检测出单个成分的衍射峰。
在这种情况下,可以尝试采用其他的物理表征技术来对复合薄膜进行分析,如透射电子显微镜(TEM)、扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)等,以获取更详细的成分和结构信息。此外,可以通过优化PLD的制备条件,如改变沉积参数、气氛控制等,以提高金属氧化物的结晶度和检测性能。

回答2:

那就表明PLD之后,金属氧化物为非晶态。一种可能是衬底温度偏低,还用一种可能是金属氧化物中氧含量偏少(氧挥发)。纯属个人看法。

回答3:

3楼说的有理,金属氧化物为无定形状态,XRD自然测不出来

回答4:

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