导电胶粘到SEM试样铜台上,硅片粘到导电胶上。样品用乙醇分散一下,滴到硅片上,待乙醇挥发后就可以拿去测了。关键是分散时的浓度,不要太浓,容易很多微球叠在一起,也不要太稀,不利于观测
用喷雾干燥机干燥成粉以后直接将粉洒在贴有导电胶样品台上就行没有喷雾干燥机,直接烘干也行,但是烘干可能形态会有变化