三维光学轮廓仪是利用白光干涉扫描技术为基础研制而成的用于样品表面微观形貌检测的精密仪器。它的显著特点是可以达到纳米级的检测精度，并可以快速获取被测工件表面三维形貌和数据进行检测，其主要用途是用于成品的质量管理，确保良品合格率。可广泛应用于各类精密工件表面质量要求极高的如：半导体、微机电、纳米材料、生物医疗、精密涂层、科研院所、航空航天等领域。可以说只要是微型范围内重点部位的纳米级粗糙度、轮廓等参数的测量，除了三维光学轮廓仪，没有其它的仪器设备可以达到其精度要求。
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