过氧化氢低温等离子灭菌器既可对金属医疗器械进行低温灭菌，也可对非金属医疗器械进行低温灭菌。通过过氧化氢在舱室内扩散，然后将过氧化氢“激励”成等离子体状态，对医疗器械进行灭菌。过氧化氢蒸汽通过与等离子体结合，可对医用器械和材料安全、迅速灭菌，不留任何毒性残余。灭菌过程的各阶段都是在干燥的低温环境下运行，因此不会损坏对热或水汽敏感的器械，对金属和非金属器械都适用，并能对诸如止血钳铰链等难以到达（不易扩散）的器械部位进行灭菌
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主要应用于临床的医疗材质和几何形状都符合要求的器材，只要按照要求进行使用，该灭菌柜就能恒定地达到10-6SAL的灭菌水平。
真空阶段：使灭菌室内真空度达到等离子体放电的真空条件。 注液扩散阶段：系统自动注入过氧化氢溶液，瞬间气化分成分子，均匀扩散到整个灭菌室。 等离子阶段：气化的过氧化氢在RF的作用下产生等离子体
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