1,平面镜两个用来产生等厚或者等倾干涉所需要的光程差。2,分光镜一个用来将入射激光分成两束,达到分振幅的目的。3,扩束镜,用来将激光束扩散开,使得干涉条纹便于观察。4,聚焦透镜,用在等倾干涉时将干涉条纹聚焦。5,光屏,用于承接干涉条纹。